納米拋光漿料是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑，具有良好的去油污，防銹，清洗和增光性能，并能使金屬制品超過原有的光澤。納米拋光漿料具備性能穩定、無毒，對環境無污染等作用。

        我國納米拋光漿料主要應用于石材、LED、集成電路等領域，其中集成電路的快速發展推動了我國納米拋光漿料的需求增長。 化學機械拋光技術是集成電路生產工藝的重要組成部分。隨著器件特征尺寸的不斷減小，對CMP技術在拋光缺陷，拋光工藝可控性、一致性等方面提出了更高的要求。CMP拋光材料包括淺溝槽隔離、多晶硅、二氧化硅介電層、鎢、銅、阻擋層用拋光液和拋光墊(pad)和修整盤等。